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"Let´s pick´n place"
Das sind die Vorteile innovativer Becker Vakuumpumpen als Komponente in nahezu allen Anwendungen im "backend" der Semiconductor Herstellung. Im Gegensatz zu noch häufig eingesetzten Ejektoren, die mittels Druckluft Unterdruck erzeugen, sind mit direkt angetriebenen Vakuumpumpen deutlich schnellere Pick´n Place Zyklen realisierbar. Auch entfällt die Belastung durch ölhaltige oder teuer aufbereitete Druckluft, die als Fortluft aus den Ejektoren ausgetragen wird. Zudem sind Energieeinsparungen bis zu 80% möglich.
Mikrochips (ICs)Vom Chip Bonding über das Testen und Sorten bis zum Bestücken sind unsere Vakuumpumpen dabei. Auf die jeweiligen Reinraumklasse abgestimmt, ermöglichen kleine Vakuumpumpen für das exakte Handling von Mikrochips.Leiterplatten (PCBs)Bei der Belichtung, dem Bedrucken sowie beim Bohren, Fräsen und Schneiden von Leiterplatten sorgen unter anderem frequenzgeregelte Seitenkanal-Vakuumpumpen der VARIAIR Produktfamilie für schonendes Handling der sensiblen Bauteile.Verpackung von elektronischen BauteilenOb direkt für die Verpackung von elektronischen Bauteilen oder aber bei der Herstellung von Tapes für die Verpackung von Mikrochips erzeugen unsere Vakuumpumpen das notwendige Vakuum von bis zu 0,5 mbar absolut.LaserstaubabsaugungDie beim Lasermarkieren entstehenden Stäube und Gase können mittels unserer Seitenkanal-Vakuumpumpen durch entsprechende Fein- oder HEPA-Filter aus dem Prozess abgesaugt werden. Beim Einsatz von elektronisch stufenlos regelbaren Aggregaten (VARIAIR Produktfamilie) können auch Signale für den Filterverschmutzungsgrad aus der Steuerung abgegriffen werden.Trocknen von elektronischen BauteilenNach Reinigungs- oder Waschvorgängen blasen Becker Seitenkanalverdichter mittels Airknife die Bauteile trocken oder sorgen unsere Vakuumpumpen für die Verdampfung der Restfeuchtigkeit in einer Vakuumkammer.CD/DVD FertigungUnsere ölfrei arbeitenden Vakuumpumpen gewährleisten in der Produktion von Ton- und Datenträgern den Unterdruck zum Fixieren der Teile während der Herstellung und der späteren Bearbeitung wie zum Beispiel dem Bedrucken. |
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