螺杆式真空泵 (VADS), 爪式真空泵 (BCV), 魯式真空泵 (RBP)
VADS Series
| m³/h | mbar* |
|---|
| 290…1380 | 200…≤0.1 |
BCV Series
| Hz | m³/h | mbar* |
|---|
| 50 | 100…500 | 50…200 |
| 60 | 120…600 | 50…200 |
VARIAIR BCV Series
| m³/h | mbar* |
|---|
| 120…325 | 50…150 |
RBP Series
| Hz | m³/h | p/p* |
|---|
| 50 | 500…2000 | 60 |
| 60 | 600…2400 | 60 |